Neues spektroskopisches Ellipsometer von SENTECH Instruments
SENTECH Instruments GmbH
 
SENresearch 4.0 ist ideal für die Untersuchung von Materialien, Oberflächen und Schichtstapeln in F&E
SENTECH Instruments GmbH, weltweit führender Hersteller für Anlagen der Plasma-Prozess-Technologie sowie für Schichtdickenmessgeräte, präsentiert das neue spektroskopische Ellipsometer SENresearch 4.0. Das SENresearch 4.0 zeichnet sein breiter Spektralbereich bei hoher spektraler Auflösung aus. Es bewegen sich keine optischen Teile während der Datenaufnahme, sodass Intensitätsmessung von mechanischer Bewegung entkoppelt ist.
Die Messung von 15 normierten Elementen der Müller-Matrix mit dem innovativen 2C-Design, sowie die leistungsfähige und umfassende SENTECH-Software für spektroskopische Ellipsometrie SpectraRay/4 sind zusätzliche Merkmale des neuen Ellipsometers. Der hohe Grad der Anpassungsfähigkeit an kundenspezifische Anforderungen macht dieses Ellipsometer zu einer der kundenfreundlichsten Messlösungen auf diesem Gebiet.
Breiter Spektralbereiche abgedeckt
Das SENresearch 4.0 ist das weltweit einzige Ellipsometer, das den gesamten Spektralbereich von UV bis NIR von 190 nm bis 3500 nm abdeckt und darüber hinaus höchste spektrale Auflösung bietet. Durch die Anwendung der FTIR-Ellipsometrie sind dicke Schichten bis 200 µm messbar.
Das SENresearch 4.0 kann in sechs verschiedenen Spektralbereichen konfiguriert werden. Der Spektralbereich kann so gewählt werden, dass die Anwendung des Kunden am besten gelöst wird.
Für das Goniometer kann zwischen einem computergesteuerten und einem manuellen optimal gewählt werden. Neu ist das computergesteuerte pyramidenartige Goniometer, das einen Winkelbereich von 20° bis 100° überstreicht. Es bietet dem Nutzer bisher nicht gekannte Präzision und Langzeitstabilität der Winkeleinstellung mithilfe eines optischen Encoders. Streu- und Transmissionsmessungen sind durch die unabhängig voneinander verstellbaren Arme des Goniometers möglich.
Das Design des SENresearch 4.0 erlaubt auch den Einsatz der Ellipsometerarme für zeitaufgelöste Untersuchungen an Prozesskammern und Flüssigkeitszellen.
Neues modernes Konzept für Optionen und Zubehör
Das SENresearch 4.0 aus dem Hause SENTECH bietet viele zusätzlichen Erweiterungen. Es gibt eine ganze Reihe an Zubehör wie z.B. motorisierte Mapping-Tische verschiedener Größen, einen computergesteuerten Drehtisch für anisotrope Proben, die 2C-Option für Messungen der Müller-Matrix-Elemente, verschiedene Heiz- oder Kühltische für temperaturabhängige Messungen, Microspots u.a. Dieses Zubehör kann der Kunde auch später erwerben und es wird nachträglich an seinem Ellipsometer vor Ort installiert. Dadurch kann das SENresearch 4.0 an sich ändernde Messaufgaben im Feld angepasst werden.
Das spektroskopische Ellipsometer SENresearch 4.0 ist ein ideales Werkzeug für die Untersuchung neuer anorganischer oder organischer Materialien, periodisch strukturierter Oberflächen sowie komplexer Schichtstapel in Forschung und Entwicklung. Es ist ab dem 01. April 2016 erhältlich.
Kontakt:
SENTECH Instruments GmbH
Schwarzschildstraße 2, 12489 Berlin
Tel.: +49 30 6392-5520
Fax: +49 30 6392-5522
E-Mail: sentech@sales.de
www.sentech.com
Quelle: NEWS WISTA Adlershof, März 2016
