golares - Das Plasma-Start-up
Adlershofer Gründerfirma entwickelt ein Verfahren, um opto- und mikroelektronische Bauelemente mikrometergenau zu beschichten oder zu strukturieren
Die Golares GmbH ist ein im Juni 2016 gegründetes Spin-off des Leibniz-Instituts für Kristallzüchtung. Im Adlershofer Zentrum für Photonik und Optik treibt das Gründerduo Michael Arens und Sebastian Golka mit einer selbst entwickelten Plasmaquelle ein Verfahren zum hoch präzisen und homogenen Beschichten sowie zum effizienten Strukturieren von Mikrooptiken, Sensoren oder opto-elektronischen Komponenten voran.
Die Möglichkeiten des Verfahrens sind vielfältig. Mit dem Plasma können an definierten Stellen senkrechte µm-Gräben in Siliziumwafer geätzt werden. Oder es bringt zugleich stromisolierende und wärmeleitende Schichten auf, um damit die Wärmeproblematik in Lasern und Mikrosystemen zu entschärfen. Möglich wird das, indem die Golares-Anlage durch eine Glasscheibe hindurch mit Spulen ein Plasma erzeugt – im Vakuum bei circa ein Pascal Druck. Der Vorteil: Atome sind unter diesen Bedingungen um ein Tausendfaches weiter voneinander entfernt, als unter Normalbedingungen. Das zahlt sich aus, wenn die Gründer abhängig von der jeweiligen Anwendung unterschiedliche technische Gase in das Plasma einleiten. Deren Moleküle werden chemisch zerlegt und ionisiert. „Es kommt darauf an, die Energie auf möglichst viele Atome zu verteilen, anstatt einzelne Atome mit viel Energie aufzuladen“, erläutert Golka. Denn nur so lagern sich die funktionalen Schichten mit hoher Gleichmäßigkeit, also homogen und mit minimaler Rauigkeit, auf den Bauteilen im Reaktor ab.
Bauteile bis acht Zoll Größe kann Golares beschichten und in Kürze auch strukturieren. Das können Einzelteile für Forschungszwecke oder Kleinserien sein. „Unser Verfahren hebt sich mit seinen Ätzraten und der geringen Schädigung deutlich vom Stand der Technik ab“, sagt Arens. Interessierte können auf die Gründer zugehen – und die Qualität der Plasmaprozesse zunächst kostenlos testen. „Wir beraten sie dabei, den für ihre Anwendung und Anforderung optimalen Prozess zu entwickeln, setzen diesen in unserer Anlage um und können ihn bis zur Serienreife weiter optimieren“, ergänzt Golka.
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Kontakt:
GOLARES plasma processing
Dr. Michael Arens / Dr. Sebastian Golka
Tel.: +49 30 6392-1738
E-Mail: info@golares.de
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